当时日本,德国,包括美国这一些光刻机公司路线选择出错。
而a却是花重金开辟了另一条光刻机生产工艺。
这个工艺,就涉及到水,也就是林本艰现在提到的浸润式。
“您觉得他的这个工艺有没有前途?”
陈宇不是很懂技术,但却知道,这是决定未来光刻机命运的时刻。
在前世2008年之后,全球90以上生产出来的芯片,用的都是林本艰所提出来的湿式光刻工艺。并且,也正因为林本艰提出了这个湿式工艺,这才将芯片从190纳米,一路做到了130纳米,90纳米,65纳米,40纳米,28纳米,20纳米,16纳米,10纳米,7纳米,和5纳米。甚至,连最为尖端的3纳米,采用的都是林本艰的湿式光刻技术。
“这个,说不准,理论上有可能,但里面还存在着一系列要解决的问题。比如,水会不会产生汽泡,水会不会污染设备,要怎么做防水,水遇热会膨胀,折射率会改变,这又怎么解决……”
张如京向陈宇述说着这一个湿式光刻工艺所面对的问题。
只是,这个时候,陈宇的眼睛已经盯紧了林本艰。
他知道。
未来若干年之后,这一切的问题都不会成为问题。
如果抓住这个林本艰,那么,中国光刻机就有希望了。
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